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技術規格展示

制程

能力及精度

光刻膠涂布

旋涂

膠厚精度≤3%

(適用于平面)

光刻膠涂布

噴涂

膠厚精度≤10%

(適用于平面/凹凸面)

光刻

精度 2um

套準精度:0.15um

顯影

精度2um

顯影均勻性<5%

蝕刻

尺寸散差 ±1um

公司擁有歐洲進口高精度光刻線,產品最小線寬2um,可以根據客戶要求定制。

產品詢盤

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